CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH

COMPAMED 2023

Halle 8a, Stand H23.4

- Development and Prototyping of MEMS and MOEMS
- Silicon based Sensor Technologies
- Microsystem Technologies

Das CiS beschäftigt sich mit Aufgaben der Grundlagenforschung und der umsetzungsorientierten industriellen Forschung und Entwicklung einschließlich Prototyping und Produktion. Es entwickelt und fertigt optoelektronische, piezoresistive, kapazitive und elektromechanische Mikrosensoren und Systeme.

Produkte

• Siliziumbasierte Mikrosensoren
• Photodioden, Photodiodenarrays
• Strahler-Empfänger-Module
• Strahlungsdetektoren
• Drucksensorchips
• Kraftsensoren
• Mikrobiegebalken, Cantilever
• Kondensationssensoren

Dienstleistungen

• F&E-Dienstleistungen für Mikrosystemtechnik:
• Entwicklung von Sensorkomponenten und -systemen
• Sensordesign
• Waferprocessing
• Aufbau- und Verbindungstechnik
• Mess- und Prüftechnik
• Sensorkalibrierung
• Festkörperanalytik
• Technologietransfer