Technische Universität Chemnitz – Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien (ZfM)

Das Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien ist eine wissenschaftliche Forschungseinheit der Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik der Technischen Universität Chemnitz. Es ist ein zuverlässiger Partner in der Grundlagenforschung, in FuE-Projekten sowie direkten Forschungs- und Entwicklungsaufträgen für die Industrie. Der derzeitige Fokus unserer Forschungsfelder liegt auf:

1D/2D Nanodevices
MEMS Technologies and Devices
Advanced Micro and Nano Patterning
Spintronics and Interconnect Systems
Simulations in Nano Technology
Molecular-based micro and nano systems
Photonics/MOEMS
Nano-Packaging
Miniaturized plasma systems
Digital Twins in Semiconductor Production

Das Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien verfügt über Reinräume mit einer Fläche von ca. 1000 m² (davon 300 m² Reinraumklasse ISO 4) und der entsprechenden Ausrüstung für die Prozessierung und Charakterisierung von Wafern mit einem Durchmesser von 100 mm, 150mm und 200mm. Eine moderne und umfangreiche Infrastruktur mit Industrie-nahen Prozessen ermöglicht kleinste Strukturabmessungen bis zu 20 nm für die Nanostrukturierung.