Technische Universität Chemnitz – Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM)

Das Zentrum für Mikrotechnologien ist eine wissenschaftliche Forschungseinheit der Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik der Technischen Universität Chemnitz. Es ist ein zuverlässiger Partner in der Grundlagenforschung, in FuE-Projekten sowie direkten Forschungs- und Entwicklungsaufträgen für die Industrie. Der derzeitige Fokus unserer Forschungsfelder liegt auf:

  • 1D/2D Nanodevices
  • MEMS Technologies and Devices
  • Advanced Micro and Nano Patterning
  • Spintronics and Interconnect Systems
  • Simulations in Nano Technology
  • Molecular-based micro and nano systems
  • Photonics/MOEMS
  • Nano-Packaging
  • Miniaturized plasma systems
  • Digital Twins in Semiconductor Production

Das Zentrum für Mikrotechnologien verfügt über Reinräume mit einer Fläche von ca. 1000 m2 (davon 300 m² Reinraumklasse ISO 4) und der entsprechenden Ausrüstung für die Prozessierung und Charakterisierung von Wafern mit einem Durchmesser von 100 mm, 150mm und 200mm. Eine moderne und umfangreiche Infrastruktur mit Industrie-nahen Prozessen ermöglicht kleinste Strukturabmessungen bis zu 20 nm für die Nanostrukturierung. 

Dienstleistungen:

  • Entwicklung von Material-, Technologie- und Funktionsdemonstratoren
  • Fertigung von Prototypen und Kleinserien 
  • Technologietransfer zu Kunden oder Foundries 
  • Ausbildung von Studenten und Promovenden

Eckdaten

Technische Universität Chemnitz – Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM)
IVAM-Mitglied
Reichenhainer Straße 70
09126 Chemnitz
Deutschland
Mitarbeiteranzahl: 120
Gründungsjahr: 1991

Kontakt

Prof. Dr. Karla Hiller
Senior Scientist for MEMS and optical Technologies
+49 371 531 33276
Dr. Jörg Schuster
Senior Scientist for Process and Device Simulation
+49 371 531 33013
Dr. Danny Reuter
Senior Scientist for Micro and Nano Technologies and Devices
+49 371 531 35041
Dr. Maik Wiemer
Senior Scientist for MMEMS Packaging and Wafer Level Packaging
+49 371 531 36654