IVAM Microtechnology Network
Das Microsystem Integration Center ist eine Forschungseinrichtung der Mikrosystemtechnologie. Es ist spezialisiert auf Prozesstechnologie und die Systemintegration. Das Center hat ebenso Expertise im Bereich Design, Entwicklung und Test von verschiedenen MEMS Bauelementen. Wir entwickeln und forschen gemeinsam mit Industrieunternehmen. Auf einer Reinraumfläche von insgesamt 1800m2 stehen zahlreiche Anlagen für MEMS Herstellungsprozesse und Evaluierung zur Verfügung. Wir betreiben Forschung mit Industrieunternehmen, basierend auf Ideen aus der Industrie oder unserer Grundlagenforschung. Wir decken ein weites Gebiet von grundlegender MEMS Technologie bis zur Systemverifikation ab. Zahlreiche Ergebnisse unserer Forschung wurden in Zusammenarbeit mit der Industrie erfolgreich kommerzialisiert.
