IVAM Microtechnology Network
Protron entwickelt und fertigt kundenspezifische mikromechanische Komponenten und Systeme. Unsere Anwendungsschwerpunkte sind RF MEMS, Sensorik, Mikrofluidik und Mikrooptik. Das Technologie-Know-how umfasst Silizium-Oberflächen und Bulk Mikromechanik, insbesondere DRIE Prozessierung (Deep reactive ion etching, Boschprozess) und Glasstrukturierung.
Mikromechanische Hochfrequenz-Schalter, Drucksensoren, Flow-Sensoren
Systemdesign und Entwicklung, FEM Berechnungen, Prototypenfertigung, Serienfertigung.
